行业应用
Industry Applications
中国科学院大学碳量子材料与器件实验室:大面积多晶金刚石晶圆抛光技术研究进展
化学气相沉积法(CVD)生产的多晶金刚石晶圆由于面积大、生产条件相对温和、生产成本相对较低等优势,广泛应用于集成电路、散热器、微机电系统等领域。
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中国科学院大学碳量子材料与器件实验室:大面积多晶金刚石晶圆抛光技术研究进展
化学气相沉积法(CVD)生产的多晶金刚石晶圆由于面积大、生产条件相对温和、生产成本相对较低等优势,广泛应用于集成电路、散热器、微机电系统等领域。